MEMS 마이크로폰은 입사된 음향에 따라 감응하는 진동판과 반대편에 고정전극으로 이용되는 후판부로 구현하는데, 본 발명에 사용되는 후판부는 전기도금법을 이용하여 두껍고 단단한 구조로 형성하며, 공정 단계의 획기적 감소와 비용 감소가 예상됨

극저온 온도영역(120K, -153℃) 이하의 열환경을 생성, 유지시키는 냉각기술 수백기압으로 압축된 가스의 팽창을 통해 수 초 미만의 짧은 시간에 극저온 온도까지 냉각이 가능한 기술

복합 탄소소재 제조시, 프리프레그의 적층 및 적층된 프리프레그 사이의 공기 제거를 자동으로 수행하여 복합탄소소재를 제조하는 장치 및 제조방법

온도 변화에 따라 액체의 충전 부피가 증감하는 특성을 이용해 전기 적접점을 연결 또는 분리하여 온도를 조절하고, 내구성 개선 및 경고 알람 적용이 가능한 온도 조절 장치에 관한 기술