사업화 유망 기술
연구내용
- 고경도 무수소 DLC 양산화 장치 기술 : 대면적(1m급) 박막/후막 코팅 공정 및 장치 기술 맞춤형 무수소 DLC 공정 기술 : 적용 부품에 따른 다양한 경도(20~70GPa), 기능성 및 두께 (~20u m) 제어 공정 기술
특허번호