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4인치급 대면적 전이금속계 이차원 (2D) TMDs 소재 합성과 지능형 센서 소자 기술
한국재료연구원 김용훈
연구내용
  • 4인치급 고품질 이차원 (2D) TMDs 소재 CVD 및 PECVD 합성 및 무손상 전사기술 CMOS
  • compatible 2D
  • TMDs TFT 어레이 소자 및 유연전자소자 응용기술 고신뢰성 뉴로모픽 시냅스 소자/어레이 및 2D Active Pixel Sensor (APS) 소자 응용 기술
특허번호