사업화 유망 기술
연구내용
- 휘발성이 우수하고 열적으로 안정하여, 이를 전구체로 이용하여 고밀도 및 고순도의 4족 전이금속함유 박막을 제조할 수 있는 4족 전이금속 화합물
특허번호