사업화 유망 기술
연구내용
- 본 발명은 고농도의 육불화황(SF6)의 분해 및 후처리 시스템에 관한 것으로 육불화황(SF6) 의 정제과정 중 소모되는 에너지를 절감하고정제과정에소모되는시간을단축하는육불화황(SF6)정제시스템및육불화황(SF6)정제방법에대한기술임
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