사업화 유망 기술
연구내용
- 레이저 유리 직접 접합은 두 장의 유리 기판 계면을 접착제 없이 직접 용접하여 붙임으로써 밀봉하는 기술임 레이저 유도 식각은 maskless 가공으로 유리 기판(fused silica, borosilicate), 사파이어 등의 투명 취성기판 위에 원하는 식각 구조를 마스크 없이 레이저로 패터닝한 후 조사된 영역만 유도 에칭을 통해 2.5D 또는 3D 구조물을 만드는 기술임