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기술 문의
투명기판의 레이저 가공 속도와 효율을 높이는 다중빔 분기 기술
한국기계연구원
최지연
연구내용
투명 기판 내부에 레이저 다중 집속 빔을 생성하여 단일 집속빔의 초점 심도보다 두꺼운 기판을 한번에 절단하거나 고종횡비의 미세 천공을 가능하게 함
특허번호
10-1582632
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