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투명기판의 레이저 가공 속도와 효율을 높이는 다중빔 분기 기술
한국기계연구원 최지연
연구내용
  • 투명 기판 내부에 레이저 다중 집속 빔을 생성하여 단일 집속빔의 초점 심도보다 두꺼운 기판을 한번에 절단하거나 고종횡비의 미세 천공을 가능하게 함
특허번호

10-1582632

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