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열형-롤 임프린트 장비
한국기계연구원 조정대
연구내용
  • 마이크로 혹은 나노 스케일의 마스크를 열형
  • 롤 장비에 장착 하여 하부롤과의 압력 및 열을 가하여 유연/신축 기판에 미세 패턴을 직접 형성하는 방법 및 이를 이용한 소자 제작 방법
특허번호

10-1022015

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