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펨토초레이저 기반 열처리기술
한국기계연구원 장원석
연구내용
  • 다른 열처리 공정 및 긴 파장의 레이저와 달리 조사된 표면에 열을 급속도로 증가시켜 주변부의 열적 손상없는 펨토초 레이저 기반 금속 및 반도체의 열처리를 통한 성능 향상 기술
특허번호

10-1980839

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