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공동 TLO 마케팅사무국

사업화 유망 기술

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극초미세형상 패터닝이 가능한 UV/열 복합 나노패터닝 장비기술
한국기계연구원 이재종
연구내용
  • 6인치 이상 크기의 기판에 나노
  • 마이크로 하이브리드 구조체를 고신뢰도를 가지고 제작할 수 있는 UV/열 복합 나노패터닝 공정 · 장비기술
특허번호

10-0761212

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