사업화 유망 기술
연구내용
- 극저온 고진공펌프는 극저온환경을 이용하여 기체를 응축 또는 흡착하여 진공환경을 조성하는 기기로, 극저온 환경을 조성하는 극저온냉동기 기술이 핵심 극저온 고진공펌프에 사용되는 다단 GM 극저온냉동기는 1단에서 80K, 2단에서 20K의 온도를 조성하며, 기체입자는 온도의 하강으로 인해 운동에너지의 대부분을 잃고 cryo
- condensation, cryo
- sorption, cryo
- trapping 현상에 의해 진공환경 조성