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경사각 제어 옵틱을 이용한 레이저 고세장비 드릴링 기술(홀 깊이: 5mm 이하, 홀 직경: 10um 이상 가능)
한국기계연구원
노지환
연구내용
레이저 빔의 초점을 용이하게 조절할 수 있는 레이저 가공 장치 레이저를 이용해 경사각도를 조절할 수 있는 그루브 가공 방법
특허번호
10-1269835
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