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포커스 측정 기능을 가지는 레이저 가공 장치
한국기계연구원 노지환
연구내용
  • 3차원 곡면 상에 마이크로 패턴 기술로 기존 Confocal, WDI 방식과 개념을 달리한 포커스 파인더 장치
특허번호

10-1628947

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