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공동 TLO 마케팅사무국

사업화 유망 기술

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리모트 플라즈마 발생장치
한국기계연구원 강우석
연구내용
  • 광범위한 운전영역 내에서 기판의 손상을 줄이는 효과적인 공정이 가능한 플라즈마 발생장치
특허번호

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