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하전입자현미경의 분해능을 높일 수 있는 초미세 금속선 팁
한국표준과학연구원 박인용
연구내용
  • 금속선 팁 표면에 형성된 산화막을 제거하는 공정을 생략하여 진공 중에서 표면산화막과 전계증발현상의 상호작용을 통해 초미세 선단부를 가진 초미세 금속선 팁 가공 방법에 관한 기술
특허번호

10-2076956

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