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측정 대상을 파괴하지 않고 단층 파악이 가능한 광학 단층 촬영기술
한국표준과학연구원 김영식
연구내용
  • 생산공정에서 3차원 나노소자의 구조 및 특성을 실시간으로 파악할 수 있는 비파괴 광학 단층 촬영기술
특허번호

10-1886919

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