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공동 TLO 마케팅사무국

사업화 유망 기술

기타 구분없음
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초음파 기반 분말 및 박막 균일 증착 공정 및 장비 기술
한국생산기술연구원 -
연구내용
  • 스퍼터를 활용하여 복잡한 형상의 제품에 균일한 증착이 가능한 초음파 기반 균일 증착장치에 관한 기술
특허번호