사업화 유망 기술
반도체 디스플레이
반도체 · 디스플레이 소재 · 부품 · 장비
플라즈몬 나노 구조체 제조를 위한 나노팁 인덴테이션 리소그래피 및 이에 의해 제조된 플라즈몬 나노 구조체
한국화학연구원
김현우
연구내용
- 본 발명의 나노팁 인덴테이션 리소그래피 기술은 원자력 현미경 팁을 가지고 폴리머 층에 마스크 패턴을 압입가공함으로써,형상,크기및방향에서높은균일성을나타내며,다양한모양의현미경팁을선택함으로써선택적으로 플라즈몬나노구조체를제조할수있어주문형제조능력을가능하게하는기술임
특허번호