사업화 유망 기술
연구내용
- 전자현미경용 시료홀더 구동기와 시료홀더 제어에 대한 기술
- 시료 홀더, 시료 홀더에 방사상으로 연결되고 시료 홀더가 3방향 병진 자유도와 적어도 2방향의 회전 자유도를 갖는 제1 구동/제2구동/제3 구동 모듈을 포함하는 시료 스테이지 관련 기술
- 여러 개의 링크 어셈블리 중 하나의 링크 어셈블리의 기준 위치를 입력 받고, 해당 링크 어셈블리에 연결된 모터에 전류를 인가하며, 인가된 전류 값을 기초로 링크 어셈블리에 인가되는 부하의 크기 및 방향을 결정하여, 부하를 감소시키는 방향으로 기준 위치에 설정 오프셋 값을 합산한 보정위치를 향하여 링크 어셈블리를 위치를 변경하는 시료홀더 관련 기술