고속 병렬 광간섭 단층 이미지 생성 장치의 광대역 광원에서 방출된 광을 낮은 파장에서 높은 파장까지 분광하는 단계, 파장별로 분광된 광을 각각 샘플 및 기준 미러로 입사시키는 스플릿 단계, 이 샘플을 P1 내지 PN 의 N개의 이미지 영역으로 구획하고, 샘플에 입사되는 광을 낮은 파장에 서 높은 파장까지 순차적으로 △λ1 내지 △λN 의 N개의 복수의 분광 영역으로 구획하는 단계
N개의 분광 영역 중 일부인 복수의 분광 영역에 해당하는 광이 샘플로부터 반사되어 나온 측정광과, 복수의 분광 영역에 해당하는 광이 기준 미러로부터 반사되어 나온 기준광이 간섭되어 형성하는 간섭광을 통해 간섭 스펙트럼 이미지를 획득하는 단계, 간섭 스펙트럼 이미지를 이용하여 샘플의 단층 이미지를 생성하는 단층 이미지 획득 단계