사업화 유망 기술
연구내용
- 감마 알루미나와 h
- BN의 하이브리드 구조를 갖는 마스킹 블록을 이용하여 패턴 직접 합성 과정에서 마스킹 블록의 슬립을 방지할 수 있으며 마스킹 블록과 성장 기판의 본딩을 용이하게 함으로써 본딩 과정에서 마스킹 블록의 박막이 전사되거나 성장 패턴 또는 성장 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있음 따라서, 이차원 소재 패턴 직성장 방법 신뢰성을 크게 개선할 수 있음
특허번호