사업화 유망 기술

반도체 디스플레이 반도체 · 디스플레이 소재 · 부품 · 장비

파일 다운로드

극초단파 레이저 충격파를 이용한 반도체/디스플레이 기판의 오염 제거 기술

한국기계연구원 김경한

연구내용

특허번호