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진공 시스템 및 그 운전방법
| 대표분류 | 기타 | 구분 | 소액무상특허 |
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| 기술테마 | 기타 | ||
| 연구기관 | 한국원자력연구원 | 연구자 | 우상익 |
| 기술내용 | 이전대상 특허번호: 10-0931135(한국) 이전유형: 양도 기술료: 무상 비고: - 높은 공정 진공도를 형성하고, 안전하게 운전할 수 있는 진공 시스템 및 그 운전방법이 개시된다. 본 발명의 진공 시스템은 진공챔버, 진공챔버와 배관에 의해 연결되어 진공챔버 내부 공간에 진공을 제공하는 진공펌프 및 배관의 경로상에 위치하고 진공챔버 내의 진공배기가스를 수집하여 저장하는 진공배기탱크 및 진공펌프 및 진공배기탱크를 내부에 수용하여 밀폐시키는 격리박스를 포함하여 구성된다. 따라서, 진공펌프가 운전 중에 발생한 열을 제거하기 위해서 별도의 냉각장치를 설치할 필요가 없어 진공시스템을 간략하게 구성할 수 있고, 진공펌프의 수명을 연장시킬 수 있을 뿐만 아니라 운전 및 유지관리 비용을 절약할 수 있다. |
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