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초내열합금의 에칭 방법 및 이에 따라 에칭된 초내열합금

초내열합금의 에칭 방법 및 이에 따라 에칭된 초내열합금 상세정보
대표분류 도금 구분 소액무상특허
기술테마 도금
연구기관 한국원자력연구원 연구자 박재원
기술내용 이전대상 특허번호: 10-1539010(한국)
이전유형: 양도
기술료: 무상
비고: -

본 발명은 초내열합금의 에칭 방법 및 이에 따라 에칭된 초내열합금에 관한 것으로, 상세하게는 초내열합금 상에 고분자를 전면 코팅하고 열처리하는 단계(단계 1); 상기 전면 코팅된 고분자 중 에칭될 초내열합금 부분 상부의 고분자를 제거하는 단계(단계 2); 및 상기 단계 2가 수행된 초내열합금을 에칭 용액에 침지하는 단계(단계 3);을 포함하는 초내열합금의 에칭 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 초내열합금의 에칭 방법은, 종래 마스킹 방법을 사용하지 않고 고분자를 초내열합금 전면에 코팅 후 열처리하고, 에칭하고자 하는 부분만 제거하고 식각함으로써 언더컷 현상이 억제된다. 또한, 열처리 수행으로 인하여 고분자와 초내열합금 간의 접착력이 증대되므로 언더컷 현상을 억제할 수 있다. 따라서 에칭효율이 증대되며, 복잡한 형태의 에칭도 용이하게 수행할 수 있다. 나아가, 마스킹 단계를 거치지 않음으로써 공정 비용 및 시간이 절감되는 효과가 있다.
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