원격 플라즈마 처리용 소스
대표분류 | 전기전자 | 구분 | 소액무상특허 |
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기술테마 | 전기전자 | ||
연구기관 | 한국핵융합에너지연구원 | 연구자 | 최용섭외 5인 |
기술내용 | 이전대상 특허번호: 10-1480095(한국) 이전유형: 양도 기술료: 275만원(부가세포함) 비고: 기술료 외 양수특허의 연차료 추납(가산금 포함)과 권리이전 제반비용 모두 기업 부담 본 발명은 원격 플라즈마 처리용 소스에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 균일한 래디컬의 분사가 이루어지도록 하기 위한 원격 플라즈마 처리용 소스에 관한 것이다. |
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