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대표분류
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구분
4차 산업 혁명 기술
기술테마
스마트시티
연구기관
한국기계연구원
연구자
이대훈
기술내용
반도체 제조공정이나 다양한 화학 산업에서 발생되는 과불화화합물(perfluorinated compounds, PFCs)을 포함하는 난분해성 공정가스(처리기체)를 분해하는 플라즈마촉매 방식의 스크러버
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