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MEMS 마이크로폰

MEMS 마이크로폰 상세정보
대표분류 정보통신 구분 4차 산업 혁명 기술
기술테마 스마트제조∙로봇
연구기관 한국기계연구원 연구자 허신
기술내용 단단한 후판부를 갖는 MEMS 마이크로폰을 제작하기 위하여 전기도금법 등을 이용하여 두꺼운 후판부를 제작함
후판부 제작을 표면미세가공기술이 아닌 몸체미세가공기술에 전기도금법을 적용함
타측에는 그리퍼가 장착될 수 있는 그리퍼 장착부가 형성되어, 로봇의 말단에 장착되어 로봇을 교시할 수 있도록 구성될 수 있음
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