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단결정 CdTe 제조 기술
단결정 CdTe 제조 기술 상세정보
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구분
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연구기관
한국과학기술연구원
연구자
김진상
기술내용
우수한 물성을 가지는 단결정의 CdTe 단결정 웨이퍼를 저가의 실리콘 기판 위에 제조하는 기술
Si 기판 위의 산화막 제거 후 GaAs를 ~10nm 이하로 성장시킨 다음
CdTe를 성장시킴으로써 단결정 얻을 수 있음
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