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상온증착 투명도전 산화물 박막제조기술

상온증착 투명도전 산화물 박막제조기술 상세정보
대표분류 전기소자 구분 사업화 유망기술
기술테마 전기소자
연구기관 한국과학기술연구원 연구자 최지원
기술내용 상온 증착하여 10-4 Ω·cm의 낮은 비저항과 90% 이상의 높은 광투과도를 갖는 Al이 도핑된 조성물(AxZ1-xO) 제조 기술 및 조성 특허
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