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고감도 산화물 박막 가스센서

고감도 산화물 박막 가스센서 상세정보
대표분류 나노기술 구분 사업화 유망기술
기술테마 나노기술
연구기관 한국과학기술연구원 연구자 장호원, 윤석진, 김진상, 강종윤, 최지원, 문희규
기술내용 산소 플라즈마를 이용한 공허 반구체 형태 나노구조 산화물 박막 제조 기술
이를 이용한 고감도 고신뢰성 가스센서 제조 기술 ! ( 산화물 가스센서 : 원리간단, 낮은 동작전압, 작은부피, 반도체 박막 공정에 따른 신뢰성 증대 )
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