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대면적 ECR 플라즈마 발생장치

대면적 ECR 플라즈마 발생장치 상세정보
대표분류 전기전자 구분 사업화 유망기술
기술테마 전기전자
연구기관 한국핵융합에너지연구원 연구자 김종식, 최용섭, 김영우, 이강일, 홍승표
기술내용 본 기술은 대면적 ECR 플라즈마 발생장치로 ECR 플라즈마를 대면적으로 형성할 수 있으며 다양한 형태의 대상물에 플라즈마를 이용하여 처리하는데 적용 가능
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