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선형 ECR 플라즈마 발생장치

선형 ECR 플라즈마 발생장치 상세정보
대표분류 전기전자 구분 사업화 유망기술
기술테마 전기전자
연구기관 한국핵융합에너지연구원 연구자 김종식, 김영우, 홍승표
기술내용 본 기술은 선형 ECR 플라즈마 발생장치로 도파관내로 도입된 전자파를 도파관의 외부로 유도하는 슬릿 아래의 길이방향을 따라 균일하고 높은 밀도의 ECR 플라즈마 형성할 수 있음
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