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플라즈마 결합 증착 장치

플라즈마 결합 증착 장치 상세정보
대표분류 도금 구분 사업화 유망기술
기술테마 도금
연구기관 한국핵융합에너지연구원 연구자 이강일, 최용섭
기술내용 본 기술은 기판 위에 박막을 증착하기 위한 열적 물리 기상 증착원에 플라즈마를 발생시킬 수 있는 발생원을 결합한 플라즈마 보조 물리 증착 장치
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