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이온 빔 공급장치

이온 빔 공급장치 상세정보
대표분류 전기소자 구분 사업화 유망기술
기술테마 전기소자
연구기관 한국핵융합에너지연구원 연구자 이강일, 최용섭, 정용호, 김영우, 박종배
기술내용 본 기술은 고진공의 조건에서 진행되는 공정중 발생되는 정전기를 제거하기 위한 플라즈마 빔(charged particle) 공급 장치
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