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연속 기상 증착 장치

연속 기상 증착 장치 상세정보
대표분류 전기소자 구분 사업화 유망기술
기술테마 전기소자
연구기관 한국핵융합에너지연구원 연구자 최용섭, 이강일
기술내용 본 기술은 플렉서블 디스플레이 제조 공정 시 사용할 수 있는 롤투롤 공정용 연속 기상 증착 장치이며 일반적으로 사용하고 있는 화학 기상 증착방법을 Roll to Roll 연속 공정에 적용할 때 생기는 챔버 오염을 방지하는 방법
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