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롤투롤 증착 공정이 가능한 선형 고밀도 ECR 플라즈마 발생 장치

롤투롤 증착 공정이 가능한 선형 고밀도 ECR 플라즈마 발생 장치 상세정보
대표분류 전기전자 구분 사업화 유망기술
기술테마 전기전자
연구기관 한국핵융합에너지연구원 연구자 김종식, 김영우, 홍승표
기술내용 본 기술은 저압에서 고밀도 선형 플라즈마를 발생시킬 수 있는 장치에 관한 기술
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