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플라즈마에 의한 비정질 실리콘의 결정화 방법

플라즈마에 의한 비정질 실리콘의 결정화 방법 상세정보
대표분류 전기소자 구분 사업화 유망기술
기술테마 전기소자
연구기관 한국핵융합에너지연구원 연구자 박종배, 김영우, 김대철
기술내용 플라즈마 내 전자를 비정질 실리콘 층으로 입사하여, 기판의 결정화가 가능한 온도(600도)로 급속하게 가열함으로써 비정질 실리콘을 폴리실리콘으로 결정화하는 기술
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