기술소개

보유기술 검색

공동TLO마케팅 사무국의
보유기술입니다 테마보기

멀티 웨이퍼 검사 장비를 위한 핵심모듈 설계 및 제어 기술

멀티 웨이퍼 검사 장비를 위한 핵심모듈 설계 및 제어 기술 상세정보
대표분류 정보통신 구분 사업화 유망기술
기술테마 측정/검사/시험
연구기관 한국생산기술연구원 연구자 남경태
기술내용


반도체 제조공정에서 웨이퍼의 패턴이 모두 만들어진 칩들의 불량여부를 검사하는 핵심 장비
자료집 다운로드

상담 및 문의하기