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고해상도 UV 현미경

고해상도 UV 현미경 상세정보
대표분류 측정/검사/시험 구분 사업화 유망기술
기술테마 측정/검사/시험
연구기관 한국기초과학지원연구원 연구자 이동호
기술내용


자유형상 광부품 가공 후 미세표면을 검사하기 위한 기술로


측정 분해능을 높일 수 있는 초고분해능 현미경의 측정 시스템 개발
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