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삼폴리염화실란으로부터 폴리실리콘 제조방법

삼폴리염화실란으로부터 폴리실리콘 제조방법 상세정보
대표분류 화학 구분 사업화 유망기술
기술테마 화학
연구기관 한국화학연구원 연구자 최원춘
기술내용 삼염화실란(trichlorosilane)의 제조방법에 관한 기술로 표면개질된 금속 실리사이드를 이용하여 삼염화실란(TCS)를 제조
삼염화실란(TCS)은 전자제품용 반도체와 태양광발전용 태양전지에 사용되는 실리콘(silicon) 기판 (wafer)의 원료인 폴리실리콘(poly silicon) 제조용 원료 가스로 많이 사용
실리콘 원소를 함유하는 정밀화학 가스 또는 화합물 등의 제조에도 사용되는 등 상업적으로도 사용 가능
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