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복수의 나노갭이 형성된 기판 및 이의 제조방법
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | 구분 | 바이러스 관련기술 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 진단, 예측 | ||
| 연구기관 | 한국기계연구원 | 연구자 | 박성규 권정대 김동호 윤정흠 조병진 문채원 |
| 기술내용 | 본 발명은 복수의 나노갭이 형성된 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 표면에 서로 이격되어 형성된 돌기형 구조체를 포함하는 기판; 상기 기판의 표면 및 상기 돌기형 구조체 상에 형성된 금속 함유 박막; 상기 금속 함유 박막 상에 형성된 절연막; 및 상기 절연막 상에 형성된 금속 함유 나노입자;을 포함하되, 상기 금속 함유 나노입자는 다른 금속 함유 나노입자 및 상기 금속 함유 박막과 나노갭을 형성하는 것을 특징으로 하는 복수의 나노갭이 형성된 기판에 관한 것으로, 높은 흡광 특성을 지니면서 광원의 파장범위를 광범위하게 조절할 수 있는 복수의 나노갭이 형성된 기판을 제공하는 효과가 있다. | ||
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