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대면적 단결정 단원자층 hBN의 제조 방법, 장치 및 이를 이용한 단원자층 그래핀 성장을 위한 기판
| 대표분류 | 화학 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 황찬용 |
| 기술내용 | 본 발명은 화학기상증착 장치에서 (111) 면의 단결정 구리 기판을 준비하는 단계; 상기 (111) 면의 단결정 구리 기판의 불순물을 제거하는 단계; 불순물이 제거된 단결정 구리 기판의 표면에 암모니아 보레인(ammonia borane) 기화물 또는 보라진(borazine) 기화물을 증착하여 복수 개의 hBN 결정체 시드를 형성하는 단계 및 각각의 hBN 결정체 시드 간의 상호 결맞음으로 성장하여 대면적 단결정 단원자층 hBN을 형성하는 단계를 포함하는 대면적 단결정 단원자층 hBN의 제조 방법, 장치 및 이를 이용한 단원자층 자외선 그래핀 성장을 위한 기판을 개시한다. | ||
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