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화학증착소재 실시간 진단장치
| 대표분류 | 도금 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 강상우 |
| 기술내용 | 본 발명에 의한 화학증착소재 실시간 진단장치는 적외선 조사장치; 서로 마주보지 않도록 배치되는 입구와 출구 및 상기 적외선 조사장치에서 조사되는 적외선의 이동 경로상에 서로 마주보게 배치되는 제 1 및 제 2 윈도우를 가지는 진단장치 몸체; 상기 입구를 통해 유입되는 증착 가스를 가열하는 핫 일렉트론 발생기; 상기 진단장치 몸체에 회전 가능하게 배치되는 흡착유닛; 및 상기 적외선 조사장치에서 조사된 적외선을 수광하여 상기 증착 가스의 상태를 판단하는 적외선 감지유닛;을 포함하는 것을 특징으로 한다. | ||
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