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화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측 시스템
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 윤주영 |
| 기술내용 | 본 발명은 내부의 상태를 확인할 수 없는 파이프 시스템에 대해 진동 응답 특성을 파악하여 내부의 막힘 상태를 예측할 수 있는 화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측 시스템에 관한 것이다. 이를 위해, 화학반응이 일어나는 챔버(25), 챔버(25)와 연결되어 화학물질을 전송하는 파이프(20), 및 파이프(20)로 화학물질을 압송하는 펌프수단(10)으로 구성된 챔버 장치에 있어서, 파이프(20)의 외면에 부착되어 소정의 충격파를 발생하는 가진기(30); 파이프(20)의 가진기(30)로부터 소정 거리만큼 이격된 곳에 설치되어 가진기(30)에 의한 파이프(20)의 진동을 감지하는 센서(35); 센서(35)의 출력신호를 도식적으로 표시하는 신호처리부;로 구성되는 것을 특징으로 하는 화학물질이 유동하는 파이프내의 막힘 예측장치가 제공된다. | ||
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