| 기술내용 |
본 발명은 반도체 제조공정 등의 화학증착 공정에 사용되는 용기 내의 액상 화학물질의 보충시 그 수위를 안정적으로 측정할 수 있는 용기 내 액상 화학 물질의 수위 진단장치에 대한 것으로서, 반도체 제조공정 등의 화학증착 공정에 사용되는 액상 화학 물질이 수용된 용기; 상기 용기 내부의 액상 화학 물질의 수위를 측정하기 위하여 용기 하부에 배치된 초음파 센서를 포함하는 액상 화학 물질의 수위 진단기구; 상기 수위 진단기구와 전기적으로 연결되어 수신된 아날로그 초음파 신호를 디지탈 신호로 변환하는 A/D 변환기; 상기 A/D 변환기에 전기적으로 연결되어 이미 설정된 기준 수위 데이터와 비교하여 용기 내 액상 화학 물질의 수위가 기준 수위 이하인 여부를 판단하는 제어부; 상기 제어부에 전기적으로 연결되어 용기 내의 액상 화학 물질의 수위가 기준 수위 이하인 경우 작동하는 경보기구; 및 상기 용기 내에 수용된 액상 화학물질 수위의 요동에도 불구하고 수위를 정확하게 진단할 수 있도록 설치된 수위진단 보조기구를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 용기 내의 화학 물질의 수위 진단장치를 제공한다. |
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