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화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치
| 대표분류 | 도금 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 윤주영 |
| 기술내용 | 본 발명은 화학 기상 증착공정을 위한 전구체의 기화장치에 관한 것으로, 밀폐용기에 담긴 전구체 수용액이 최저수위까지 기화됨이 가능하도록 밀폐용기의 내벽면 일측에 근접되게 편중/배치되고 높이방향을 따라 최저수위까지 배관되는 연결관과, 연결관의 하단에 관이음되고, 밀폐용기의 바닥면을 따라 배관되는 기포발생관을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이 때 기포발생관은, 바닥면의 내주연을 따라 배관되는 폐곡선 형상, 바닥면을 가로질러 배관되는 직선 형상, 폐곡선 형상 및 폐곡선의 내주연을 가로질러 배관되는 직선 형상 등으로 이루어지는 것이 바람직하며, 그 외주연 상부에 일정간격을 따라 통기구가 형성되어 전구체 수용액의 최저수위에서 그 전반에 걸친 기포발생 및 버블링이 이루어질 수 있다. | ||
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