| 기술내용 |
레이저 간섭계를 이용한 나노 형상 측정장치 및 그 방법이 개시된다. 복수의 레이저 장치는 각각 빔을 생성하고 생성된 빔 중에서 특정 주파수의 빔을 방출하며, 생성된 빔의 파장을 검출하기 위한 간섭신호를 출력한다. 제어부는 출력된 간섭신호로부터 생성된 빔의 파장을 검출하고 검출된 파장을 기초로 복수의 상기 레이저 장치를 제어한다. 광학 장치부는 피검체의 표면에 레이저 장치가 방출한 빔을 투사시켜 피검체의 간섭무늬를 생성한다. 복수의 셔터는 개폐되며 폐쇄된 경우에는 레이저 장치가 방출한 빔이 광학 장치부로 조사되는 것을 차단한다. 촬상부는 생성된 간섭무늬를 촬상한다. 본 발명에 따른 형상 측정장치 및 그 방법에 의하면, 안정된 주파수를 방출하는 복수개의 다채널 주파수 스캐닝 레이저 장치를 이용하여 광을 방출함으로 높이가 큰 피검체의 형상을 정확하고 정밀하게 측정할 수 있다. 또한 본 발명에 따른 형상 측정장치 및 그 방법은 기준면의 위치 이동을 요구하지 않으며, 이에 따라 기준면의 위치 이동으로 인한 시간 소요 및 오차 발생을 방지하여 피검체의 형상을 신속하고 정확하게 측정할 수 있다. |
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