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플라즈마 측정 장치 및 측정 방법
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 반도체 기판∙소자 및 이들 제조 관련 기기 | ||
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 유신재 |
| 기술내용 | 본 발명은 플라즈마 측정 장치 및 플라즈마 측정 방법을 제공한다. 이 장치는 플라즈마 내부에 삽입되고 전자기파를 발산하는 송신 안테나, 플라즈마 내부에 삽입되고 송신 안테나와 나란히 배치되는 수신 안테나, 가변 주파수를 안테나에 송신 안테나에 제공하고, 송신 안테나와 수신 안테나 사이의 전기적 특성을 측정하여 송신 안테나와 수신 안테나 사이의 임피던스를 출력하는 네트워크 분석부, 및 송신 안테나와 수신 안테나 사이의 임피던스를 분석하여 전자-중성 충돌 주파수를 산출하는 처리부를 포함한다. | ||
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