본문 바로가기
전체메뉴닫기
신규한 게르마늄 아미노알콕사이드 화합물 및 그 제조 방법
| 대표분류 | 화학 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 유기-금속 화합물 또는 유기 화합물 | ||
| 연구기관 | 한국화학연구원 | 연구자 | 김창균 |
| 기술내용 | 본 발명은 게르마늄 선구 물질로서 하기 화학식 1로 표시되는 신규의 게르마늄 아미노알콕사이드 화합물 및 그 제조 방법에 관한 것이다. [화학식 1] 상기 화학식 1에서 상기 화학식에서 R1 및 R2는 서로 독립적으로 불소로 치환되거나 치환되지 않은 C1-C7의 선형 또는 분지형 알킬기이며; R3 및 R4는 서로 독립적으로 수소, 불소로 치환되거나 치환되지 않은 C1-C7의 선형 또는 분지형 알킬기이며, m은 1 내지 4이다. 본 발명에 따른 게르마늄 선구 물질은 상온에서 흰색 고체 상태로 존재하며 녹는점이 낮아 액체로도 존재할 수 있으며, 분별 증류하여 순수한 화합물을 얻을 수 있다. 이를 이용하여 게르마늄, 게르마늄 산화물, 게르마늄 칼코게나이드 및 기타 게르마늄을 포함하는 물질을 제조할 수 있을 뿐만 아니라 금속 유기물 화학 증착법(metal organic chemical vapor deposition, MOCVD)을 통하여 게르마늄 박막을 제조할 수 있는 장점이 있다. | ||
| 자료집 | 다운로드 | ||