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트리메틸갈륨(TMGa) 정제 장치
| 대표분류 | 전기소자 | 구분 | 소재부품장비 기술분야 |
|---|---|---|---|
| 기술테마 | 유기-금속 화합물 또는 유기 화합물 | ||
| 연구기관 | 한국기초과학지원연구원 | 연구자 | 이상섭 |
| 기술내용 | 본 발명에 따른 TMGa 정제 장치는 액체 TMGa(trimethylgallium)를 가열시킨 상태에서 불활성 가스를 유입시켜 상기 액체 TMGa를 기화시키는 기화부; 상기 기화부로부터 배출된 TMGa 가스를 액화시켜 정제된 액체 TMGa를 1차적으로 회수하는 정제부; 및 상기 정제부에서 액화되지 않은 TMGa 가스를 액화시켜 정제된 액체 TMGa를 2차적으로 회수하는 트랩부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. | ||
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